深圳國際半導體展（SEMI-e 2025）于9月12日圓滿落幕，上海漢虹精密機械有限公司憑借碳化硅長晶技術收獲廣泛關注。展會期間，漢虹首次公開展示了由自主研發(fā)設備制備的8英寸LPE碳化硅晶錠及配套長晶設備，同時展出了其8英寸PVT碳化硅晶錠（電阻式）及相應長晶設備，其展示效果成為展會焦點之一，彰顯了漢虹設備在碳化硅長晶領域的技術實力。

 技術成果：高品質碳化硅晶錠引業(yè)界矚目

漢虹在展會現場展示了自主研發(fā)制備的8英寸碳化硅晶錠(LPE與PVT），以優(yōu)良的晶體形態(tài)、可控的表面微凸度和較低的缺陷密度贏得了專業(yè)觀眾的好評。展示了漢虹在碳化硅長晶工藝方面的技術能力。晶錠產品表現出較好的晶體形態(tài)和表面質量，體現了公司在材料制備領域的技術積累。

大尺寸碳化硅晶錠能夠顯著擴大單片晶圓上的可用芯片制造面積，在同等生產條件下不僅大幅提高芯片產量，還能有效降低單位芯片制造成本。隨著AR眼鏡、新能源汽車、光伏儲能等行業(yè)對高性能碳化硅襯底需求的持續(xù)增長，漢虹的技術突破為行業(yè)發(fā)展提供了重要支撐。

LPE碳化硅長晶技術：創(chuàng)新方案展示

漢虹還通過海報展示了8-12英寸電阻式PVT碳化硅長晶爐，該設備采用多溫區(qū)控制技術，能夠對溫度、壓力等參數進行控制。通過熱場旋轉設計，設備有助于保持溫度場的均勻性。

設備設計融合自動化與智能化技術，致力于支持規(guī)?；慨a需求。通過優(yōu)化的溫場控制與精密運動系統(tǒng)，力求晶體生長過程的穩(wěn)定性和一致性。

PVT碳化硅長晶設備：技術優(yōu)化展示

漢虹還通過海報展示了8-12英寸電阻式PVT碳化硅長晶爐，該設備采用多溫區(qū)控制技術，能夠對溫度、壓力等參數進行控制。通過熱場旋轉設計，設備有助于保持溫度場的均勻性。設備設計融合自動化與智能化技術，致力于支持規(guī)模化量產需求。通過優(yōu)化的溫場控制與精密運動系統(tǒng)，力求晶體生長過程的穩(wěn)定性和一致性。

互動現場：專業(yè)觀眾駐足，深入洽談合作

展會期間，漢虹展位吸引了大量專業(yè)觀眾駐足交流。漢虹團隊全天候接待了來自半導體產業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的企業(yè)代表與技術人員，就碳化硅長晶工藝的創(chuàng)新突破與產業(yè)化應用進行了深入探討。

來自新能源汽車、光伏儲能、5G通信等領域的客戶對漢虹展出的大尺寸碳化硅長晶技術方案表現出濃厚興趣，特別是在高功率應用場景下的技術優(yōu)勢。多位專業(yè)觀眾在現場詳細咨詢了設備參數與工藝細節(jié)，并對漢虹的技術創(chuàng)新給予了積極評價。

半導體設備制造商、材料供應商及科研院所的代表與漢虹技術人員進行了多輪洽談，就未來可能的技術合作與市場拓展進行了初步溝通，為后續(xù)合作奠定了良好基礎。展會現場交流氣氛熱烈，體現了行業(yè)對先進碳化硅長晶技術的高度關注。

未來展望：攜手共創(chuàng)碳化硅產業(yè)新未來

在展會現場，漢虹還通過多種多樣的形式，系統(tǒng)展示了公司在硅材料長晶設備、化合物長晶設備及 PVD 鍍膜設備等領域的產品。這些產品展示了漢虹在半導體設備領域的產品線布局。漢虹將繼續(xù)專注于半導體長晶設備領域的技術研發(fā)，為客戶提供設備及工藝支持。公司致力于為客戶提供從設備到工藝的全流程服務，幫助客戶實現產線建設與投產?；谑袌鲂枨笈c客戶反饋，漢虹將持續(xù)改進設備性能，與客戶及行業(yè)伙伴共同推動技術進步。目前漢虹設備已在多家客戶項目中投入應用。